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EUV/XUV波前傳感器

描述:Hartmann波前傳感器(相干和非相干輻射),緊湊結構,可以實現光化性能檢測,包括EUVL 等離子源、自由電子激光、HHG高次諧波束,實時光學調整。

更新時間:2024-08-20
產品型號:XUV/EUV
廠商性質:代理商
詳情介紹
品牌其他品牌產地類別進口
應用領域環保,能源,電子,電氣,綜合

主要特點

       Hartmann波前傳感器(相干和非相干輻射)

       緊湊結構

       光化性能檢測

           -EUVL 等離子源

           -自由電子激光

           -HHG高次諧波束

       實時光學調整

       單個脈沖重復性:λ/116 (wrms),for EUV (λ =13.5 nm)


EUV/XUV波前傳感器


技術規格

       波長范圍:<1nm~60nm(量子轉換涂層)

       視場:9mmX6.7mm(可選更大尺寸)

       動態范圍:14Bit

       Hartmann 盤:precision pinholes ?75μm, 250μm pitch

       傾角:±10°

       XY調節范圍:±10mm

       UHV兼容:CF63法蘭

EUV/XUV波前傳感器EUV/XUV波前傳感器

Wavefront measurement of Free Electron Laser FLASH

(DESY/Hamburg) at λ=13.5nm, before (above) and after

(below) adjustment of beam line optics (B. Fl?ter, K.

Mann, K. Tiedtke et al. NIM A 635, S108–S112 (2011) )


EUV/XUV波前傳感器

Spot pattern @ λ=1.5 nm

(LCLS / Stanford)


EUV/XUV波前傳感器

Reconstructed intensity profile


光束測試軟件

EUV/XUV波前傳感器


測試基于ISO標準

Parameter

Standard

Beam diameter光束直徑

ISO 11146

Divergence

ISO 11146

Beam profile光束剖面

ISO 13694

Pointing 指向/ pos. Stability位置穩定性

ISO 11670

M2 質量因子/ Focusability聚焦性

ISO 11146

Wavefront 波前 / Phase distribution相位分布

ISO 15367

Coherence 相干

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Around 20 various camera types are supported





巨力光電(北京)科技有限公司立足于北京市副中心通州區,專門經銷歐洲、美國、日本等國家制造的科學儀器設備,為客戶提供完備的售前咨詢和售后服務、技術支持。公司骨干在該行業有超過10年的經驗,專業的服務水平、完善的售后服務體系。

目前主要產品涉及材料科學、微納米技術、表面測量和光電器件、光伏產品、半導體器件的檢測與研發等領域。公司本著以科技為導向、以客戶為中心、以服務為宗旨,竭誠為新老客戶提供優質的服務!

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